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芯片为什么要用硅晶圆

1. 晶圆清洗:表面必须清洁无尘,通常采用气相清洗、化学腐蚀、超纯水清洗等方法。

2. 晶圆沉积:采用化学气相沉积或物理气相沉积等技术,在晶圆表面沉积一层硅氧化物等材料,用于绝缘、隔离等功能。

3. 光刻:通过光刻机将芯片电路的图形投影到晶圆表面,用于制造电路的图形结构。

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